多模式扫描探针显微镜是世界上销售最好的SPM。它可以完全实现原子力显微镜（AFM）和扫描隧道显微镜（STM）这两种模式，从而测量表面特性，如：形貌、弹性、摩擦力、支撑力及电场、磁场等。针尖与样品间较短的机械通道长度，使其可以实现超高精度的快速扫描。

MultiMode PicoForce系统整合了新型的力测量组件和SPM技术，在生物分子和纳米尺度研究领域具有独一无二的精度、灵活性和重复性。MultiMode SPM系统的多种多样的自动SPM图像模块使PicoForce具有了无限的扩展可能。手持式PicoAngler工具借助革命性力反馈特性，可以通过“触觉”感知分子和力

DI CP-II扫描探针显微镜在材料及物理科学研究领域性能优越。在CP-II工作头上设计了一个同轴显微镜，借助于其ScanMaster闭环线性扫描扫描专利技术，可以实现最大100x100微米的成像区域。该系统简单易用，整合了高放大倍率彩色光学和马达驱动 Z 轴，从而实现了简单快速的找到特征结构，更换针尖，缝合样品等操作。该系统完整的成像模式数据库，硬件选项，针对不同应用的灵活性等优点，都使得 CP-II 在同等价格等级的科学扫描探针显微镜领域具有最好的性能表现。

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Veeco di MultiMode

Veeco di PicoForce

Veeco di CP-II

Wyko NT8000 是功能最强大的光学轮廓仪，可以测量台阶高度、粗糙度和表面形貌。 Veeco 的第 8 代光学轮廓仪属于非接触式三维测量系统，量程范围：0.1纳米～ 8 毫米，亚纳米级精度。独创的内部参考信号技术，可以实现在整个扫描范围内的自校准。具备 100 微米每秒的扫描速度和全自动功能， NT8000 是材料、金属、MEMS、半导体、光学及其他领域研发与生产应用的最佳选择。

NT1100可以实现高精度的三维表面测量，无论时亚纳米的粗糙度还是毫米级的台阶高度，都具备快速、可重复及高精度的的特性。体积小巧的 NT1100 具备 Wyko 工业标准光学轮廓仪的所有优点，包括完整的Vision®32分析软件包。先进的光学设计保证了在各种放大倍率下都有亚纳米级的垂直分辨率。添加数据缝合功能选项及马达驱动样品台，实现大视场的高分辨率测量。NT1100系统能为MEMS 、厚膜、光学、陶瓷及先进材料的研发、生产领域提供精确的、行之有效的测量手段。

DMEMS功能选项可以让您使用Wyko NT1100光学轮廓仪实现三维测量被激励的微器件，以评估器件的真实功能。DMEMS系统截取一系列三维测量数据，生成样品器件的运动视频。模板驱动软件让您筛选出平面内、出离平面的维度，共振频率，形状扭曲，偏转及其他关键器件参数。DMEMS是第一台在同一个平台上整合了动态、静态测量，粗糙表面的白光轮廓扫描和完整MEMS大台阶测量的系统。

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Veeco Wyko NT8000

Veeco Wyko NT1100

Dektak 8®先进轮廓仪（ADP）应用于MEMS表面特征描述，半导体和薄膜领域，整合了高重复性，微力传感器和三维数据分析多项技术。其台阶高度重复性精度可以达到 7.5 埃，1ε，垂直测量范围到1mm。其工作头构架式设计使得其在做平面测量时，可以实现200毫米的扫描长度。配备Dektak优秀的N-Lite微力传感器选项，在进行柔软材料的无压痕测量时，可以使探针压力最小到0.03毫克。N-Lite也使超尖针尖的使用成为可能，在测量深沟槽、浅槽隔离（STI）蚀刻深度及MEMS领域的探针深度结构时，高深宽比的针尖可以分辨亚微米线和间隔。

Dektak 6M台式表面轮廓仪可以测量任何表面的台阶高度，软件可控制探针压力小到1毫克，垂直高度不超过1毫米，被测样品尺寸最大6英寸，可实现测量台阶高度，表面粗糙度及波纹度。该系统配备的低惯性传感器保证了其卓越的精度。配合最新一代的HAR针尖使用，可以测量之前的探针式轮廓仪无法实现的高深宽比测量。对于目前的MEMS、材料科学及半导体应用领域，Dektak 6M是最便利、最小巧、最经济的设备。

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Veeco Dektak 8 ADP

Veeco Dektak 6m

Imago的旗舰产品——局部电极原子探针显微镜（LEAP®）是一款最新的原子探针显微镜，在已知的原子探针产品中，具有引以为傲的最快的数据采集速率，最大的视场及最大的数据分析量。

LEAP®显微镜出色的成分成像技术在分析纳米材料（纳米线、纳米管等）的研发与生产领域的复杂问题中，具有极大的潜力。

LEAP®显微镜特别适合与材料及金属研究领域一些物理量的描述与理解，如：晶界偏聚，析出物大小，成分与分布，无定形合金中的纳米结晶、析出物与主要成分。

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Imago LEAP

PhaseCam™让您可以得到可靠的、精确的、高分辨率的结果。和老式的相移干涉仪不同的是，PhaseCam™ 从一帧图像中就可以得到结果。数据在10微妙内就采集完成，所以，即便有大量的震动和空气扰动也不会影响到PhaseCam™。也不像其他的多相机或大倾斜技术，PhaseCam™更简单、更可靠，更精确。PhaseCam™之所以被称之为“动态干涉仪”是因为它比那些老款的被定义“实时”相移干涉的干涉仪更快。新的PhaseCam™4010系统的分辨率可以达到最初PhaseCam™ 系统的两倍。

FizCam™1500是全新的、高性能的动态斐索干涉仪系统。借助包括单CCD传感器、高速光学相位传感器等多项技术的革新，FizCam™1500可以在30微妙内完成一次波前测量，使得该系统几乎完全不受震动及空气扰动的影响。现在，高精度斐索干涉仪可以应用在几乎任何环境，甚至是在运动的装置上也不例外。借助其最大16倍变焦功能，可以很方便的实现各种尺寸样品的测试。独创的双变焦设计，为您测量各种尺寸样品时提供快速的、不受震动干扰的保障。最重要的是，FizCam™ 1500可以和大量不同厂商的斐索配件兼容，之前您在光学器件上的投资不会浪费。通过其广角准直系统装配您自己的器件只需要很短的时间。FizCam™成像系统没有旋转毛玻璃限制速度和精度，所以该设备总是表现出最佳的性能。另一个优点是：只需要调节一个旋钮就可以实现反射率从1％到100％的各种样品的测量，根本不需要易碎的光束衰减器。

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4D PhaseCam 4010

4D FizCam 1500

专利产品AXIC TYGER薄膜分析仪通过分析激光光源的反射光，针对透明薄膜研究的多角度反射仪。在几秒种内，就可完成对多层薄膜的精密测量。 TYGER'S先进的设计将其独一无二的软件和激光光学相结合来测量实际薄膜的厚度，折射率和吸收率。

精密1000-B®可以轻易地对应用于半导体，超导，磁学和光学领域的复合薄膜进行分析。这套全自动系统在生产环境中提供了快速的成份分析和厚度分析。精密1000-B®可以描述表征薄膜在沉积过程中的变量影响，一旦沉积过程确定，精密1000-B®就如同一个质量监控器以保证薄膜生产中的成份和厚度要求。

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AXIC Tyger (left) and Precision 1000-B (right)

F20先进光谱测厚系统可以快速测量薄膜的厚度和光学参数（n 和 k）。对从薄膜上表面和下表面的反射光进行光谱分析可以在几秒中内得到厚度，折射率和消光指数。整套设备可安放在桌子上，并且安装非常方便快捷。懂得基本计算机操作的任何人都可使用该设备。F20系统包括测量膜厚所需的一切附件：分光计、光源、光纤、样品台和Windows™操作系统软件，只需要和您的计算机相连即可使用。

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Filmetrics F20

太平洋精密实验室（前身为J-MAR精密测量公司）成立于1985年，主要为盘片驱动工业设计和制造精密电机平台和定制工程系统，对微电子和盘片驱动行业来讲， PPL 最闻名的是带独创的Video-CMM软件的光学检测系统。

Mirage是全自动成像一种具紧凑桌面型的带来高精度测量的激光测量系统，典型的配置应包括按精度要求的需要镜头可自动转换的双位置设计的显微镜光学系统，高速的激光自聚焦功能，移动视频成像聚焦，可选择附加一个激光探针来实现的超精密的 z 轴成像系统。

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PPL Mirage

Center是由电脑控制的单平台全自动抛光的样品预制系统，它包括对IC和磁头样品预制的SEM，TEM，SCM 及PEM，在硅片上，冲模和封装时进行截面和平行面的抛光处理。一前一后设计的一个带CCD摄像头的显微镜和放大倍率达到9000X的成像系统若结合独家的亚微米抛光技术使用户更容易达到目标位置，更有清晰度及能更好地进行制程监控。使用电脑控制系统，能更好地利用现有的加工工序，发展新定义的工序，储存图像和测量数据，并能与其他部门或工作点进行信息共享。独家的成像处理，自动目标获取，边缘检测，Sagitta在线抛光眼模组，及精确的角度控制到 -+/-0.1 度（EAC）所有这些功能使设备的精度控制达到 +/-0.1um ，进行高产量测量和独一无二的斜面抛光能力。

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Gatan (Sagitta) Centar

VIC是世界最大的只研究，设计，生产，分销和服务检漏设备和提供成套检漏方案的公司。MS-40在设计上的突破点是结合高测试端口压力，大功率内置机械泵和 VIC独有的分光光度计。MS-40利用一个可偏转的双磁性扇形分光光度计试管以进行高真空离子测量，出厂时配有两根耐用的低电流的灯丝。自清洗加热排斥和自动闭环喷射控制可称得上是MS-40的设计的核心部件。随行的重离子不需要对分光光度计试管进行消电离作用，MS-40测试快速，在工业中被广泛应用。分光光度计的氦灵敏度达到3级或4级，可由操作者自行选择。

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VIC MS-40

CETR -UNMT (微 /奈米材料磨润特性测量仪 )

全世界最大磨润设备生产商─CETR (Center For Tribology Inc. 。其多功能磨润测试机 UNMT
(Universal Nano+Micro+Macro Materials Tester )

UNMT系列，其主要优点：
- 多功能磨润测试平台，客  可随时加装不同测试配备，以配合研究需求。
- 多种检测器可随时加装。
- 多种力量检测器可供选择，由Nano 至 Macro 等级均可 ( 10nN 至 1kN )。并具电脑伺服控制，可用于非平面样品)。
- 其上、下工作台，可随时加装全自动 X, Y , Z 轴移动或水平/垂直方向转动或左右来回运动。
- 所有移动轴皆具 submicron level encoder(0.25um / 0.5 um) 或最高之25nm encoder
- 其软件可支持高速数据拮取，最高每秒二十万次，并同时分析最高十六组检测器之讯号。

适用以下各种测试：
摩擦力(静态、动态)、划痕─硬度、微痕测试、附着力、耐久性试验(多轴式、拉紧、压缩、扭曲)、润滑性试验
、环境试验(真空、气体输入)─温度(40゜~1000゜c ) 湿度(0~100%)、材料测试(弹性、塑性...)、破坏性穿透

应用广泛：
薄膜(例如：MEMS, BioMEMS)、半导体晶圆、磁寄存器件、汽车零配件、微电子、电子接合装置、润滑油、添加剂、化妆品、高分子聚合物、填充剂、纸类、化学物

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CETR-UNMT