研发
　 --生产设备
　　 AXIC - RIE, 等离子体化学气相蒸发沉积系统
　　 Tamarack – 照相平板印刷系统
　　 Gatan (Sagitta) – 扫描电子显微镜 , 投射电镜样品制备系统 , 延迟器系统
　　 EVG – 喷溅镀膜， 晶片清洁，纳米印刻技术设备
　　 First Nano 奈米碳管及奈米线成长设备
　 --表面测量及检测设备
　　 Veeco (di) – 扫描探针显微镜 / 原子力显微镜
　　 Veeco (Wyko) – 光学轮廓仪
　　 Veeco (Dektak) – 台阶仪
　　 Imago – 三维原子探针显微镜
　　 4D – 动态干涉仪
　　 AXIC – 光学薄膜分析 及 X 射线荧光薄膜分析仪 (XRF)
　　 PPL – 自动显示激光测试系统
　　 VIC – 检漏仪
　　 CETR-UNMT 微 /奈米材料磨润特性测量仪
　 --其它
　　 Herzan – 防震平台系列

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