Tru Si Technologies, Inc. 为半导体产业提供了在大气下运行的等离子流(ADP)加工处理设备,该设备满足无线、便携式、网络与互联网市场对更微型、更便宜、更集成的电子装置的需求。这种设备主要集中在能为芯片市场提供完整简洁的解决方案。
Tru Si 提供了大气下运行的等离子流的(ADP)气体蚀刻设备及能够完整灵活掌握微小硅片的处理技术。
干蚀刻处理是注入典型的CF4气体,通过带电氩气离子束分解他的一组原子,部分原子通过大气状态释放电子,部分原子和空气发生反应,变成惰性气体,这是行之有效的且无离子损伤的干化学蚀刻。
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