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全世界最大磨润设备生产商─CETR
(Center For Tribology Inc.)
, 其最新推出之型号
eCP-4为世界首创兼具化学机械研磨及电化学机械研磨之桌上型机台。机台可用于
CMP , eCMP
制程之研究 及 有关消耗品之开发、研究。全自动电脑控制系统,可实时分析各种检测器之讯号
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芯片与研磨垫 或 垫与麿垫片(CMP
pad conditioner)
之间动态摩擦系数量测,从而了解芯片之研磨速度及不均匀性
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在电化学机械研磨应用时,可实时侦测电流强度及电压值
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透过音频输出检测器
( acoustic emission detector)
所测得之能量及峰值,可判断研磨强度及半导体薄膜上极微小之裂缝、脱落
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可实时侦测研磨液及研磨垫之温度变化
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可实时侦测研磨垫在研磨时或磨垫时之磨损深度(pad
wear depth)
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